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发明名称 CVD PROCESS FOR COATING EXTENSIVE SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0545460(A3) 申请公布日期 1994.12.07
申请号 EP19920203541 申请日期 1992.11.18
申请人 PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 LYDTIN, HANS JUERGEN, DR.;RITZ, ARND, DR.
分类号 C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/513;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/50;C23C16/54;C23C17/245 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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