光罩检测设备

摘要

本实用新型公开一种光罩检测设备，包括有：由水平面和竖直面构成的支架台，且从所述支架台后方向上延伸出一支撑臂；移动操作台，设置在所述支架台的水平面上；包括有复数个不同倍率的光学镜头的显微镜机构，该显微镜机构通过所述支撑臂固定在所述移动操作台的上方。本实用新型可实现高精度和非常小线宽的光罩缺陷检测，且可以适用于多种精度等级的光罩检测。

主权项

1、一种光罩检测设备，其特征在于，该设备包括有：由水平面和竖直面构成的支架台，且从所述支架台后方向上延伸出一支撑臂；移动操作台，设置在所述支架台的水平面上；包括有复数个不同倍率的光学镜头的显微镜机构，该显微镜机构通过所述支撑臂固定在所述移动操作台的上方。