用于玻璃离子注入机的离子源

摘要

本实用新型用于玻璃离子注入机的离子源，由离子形成区和引出区两部分组成，离子形成区由相互之间绝缘的阴极、阳极和绝缘套组成，阴极的前端为触发极，做成圆筒状，安装在阴极周围，位于阴极和阳极之间，阴极为圆筒，由需要注入离子的金属制成，阴极的后部设置一阴极推动机构，用来推动阴极向前进。该离子源能产生广泛的离子种类，较大的束流强度，特别适合玻璃的离子注入，同时，通过阴极推进机构，不断地补充消耗的阴极材料，延长了单个电极的寿命，减少了阴极更换次数，提高了效率。

主权项

1、用于玻璃离子注入机的离子源，由离子形成区和引出区两部分组成，其特征是：所述离子形成区由相互之间绝缘的阴极、阳极和绝缘套组成，阴极的前端为触发极，做成圆筒状，安装在阴极周围，位于阴极和阳极之间。