发明名称
摘要
申请公布号 JPH0699806(B2) 申请公布日期 1994.12.07
申请号 JP19890010426 申请日期 1989.01.19
申请人 发明人
分类号 C01B13/20;C01B13/32;C23C14/56;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C01B13/20
代理机构 代理人
主权项
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