发明名称
摘要
申请公布号 JPH0699229(B2) 申请公布日期 1994.12.07
申请号 JP19890024577 申请日期 1989.02.02
申请人 发明人
分类号 C30B15/28;C30B27/02;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/28 主分类号 C30B15/28
代理机构 代理人
主权项
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