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发明名称 SPUTTERING TARGET FOR FORMING WIRING AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH06336673(A) 申请公布日期 1994.12.06
申请号 JP19930126521 申请日期 1993.05.28
申请人 HITACHI METALS LTD;YASUKI SEIMITSU:KK;HITACHI LTD 发明人 KAZUYASU MUTSUO;OIKAWA SABURO;KONISHI NOBUTAKE
分类号 C22C21/00;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C22C21/00
代理机构 代理人
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