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发明名称
VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06336672(A)
申请公布日期
1994.12.06
申请号
JP19930128797
申请日期
1993.05.31
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SAKAINO TAKESHI
分类号
C23C14/24;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/24
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
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