ETCHING END POINT DETECTION DEVICE,申请号JP19930151144-传众专利搜索

发明名称	ETCHING END POINT DETECTION DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06338477(A)	申请公布日期	1994.12.06
申请号	JP19930151144	申请日期	1993.05.28
申请人	OKI ELECTRIC IND CO LTD	发明人	AOYAMA RYOICHI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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