发明名称 |
DISPOSITIVO PER LA MANIPOLAZIONE DI UN FASCIO DI RADIAZIONE DI UN SIN-CROTONE |
摘要 |
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申请公布号 |
ITTO940989(D0) |
申请公布日期 |
1994.12.06 |
申请号 |
IT1994TO00989 |
申请日期 |
1994.12.06 |
申请人 |
JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH |
发明人 |
SEHER BERND;REUTHER FRANK;MULLER LUTZ |
分类号 |
G21K1/02;G03F7/20;G21K1/04;G21K3/00;G21K5/02;H01L21/027;H05H13/04 |
主分类号 |
G21K1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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