发明名称 DISPOSITIVO PER LA MANIPOLAZIONE DI UN FASCIO DI RADIAZIONE DI UN SIN-CROTONE
摘要
申请公布号 ITTO940989(D0) 申请公布日期 1994.12.06
申请号 IT1994TO00989 申请日期 1994.12.06
申请人 JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH 发明人 SEHER BERND;REUTHER FRANK;MULLER LUTZ
分类号 G21K1/02;G03F7/20;G21K1/04;G21K3/00;G21K5/02;H01L21/027;H05H13/04 主分类号 G21K1/02
代理机构 代理人
主权项
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