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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06338500(A)
申请公布日期
1994.12.06
申请号
JP19930127412
申请日期
1993.05.28
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
ICHINOSE SHUJI
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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