| 发明名称 |
DETECTING METHOD FOR DEFECT OF INSULATING FILM BURIED IN SEMICONDUCTOR BOARD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06338549(A) |
申请公布日期 |
1994.12.06 |
| 申请号 |
JP19930129738 |
申请日期 |
1993.05.31 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
HAMAGUCHI ISAO;YANO TAKAYUKI;FUJITA TETSUO;KAJIYAMA KENJI |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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