发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06338466(A) 申请公布日期 1994.12.06
申请号 JP19930129804 申请日期 1993.05.31
申请人 SONY CORP 发明人 KAWAI HIROHARU;WADA SHINICHI
分类号 C30B25/14;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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