| 发明名称 |
METHOD OF FORMING INSULATION FILM AND METHOD OF MANUFACTURING GATE INSULATION FILM FOR THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06338492(A) |
申请公布日期 |
1994.12.06 |
| 申请号 |
JP19930128859 |
申请日期 |
1993.05.31 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MUKAI YUJI;KODERA KOICHI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/31;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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