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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06338519(A) 申请公布日期 1994.12.06
申请号 JP19930128746 申请日期 1993.05.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIMADA CHO;AKIYAMA TATSUO;KAMURA MAYUMI
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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