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发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06338608(A) 申请公布日期 1994.12.06
申请号 JP19930129491 申请日期 1993.05.31
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 TAKEUCHI KOICHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/266;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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