PLASMA CVD DEVICE,申请号JP19930151245-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06338458(A)	申请公布日期	1994.12.06
申请号	JP19930151245	申请日期	1993.05.28
申请人	KOKUSAI ELECTRIC CO LTD	发明人	TAKEDA TOMOHIKO;KONNO YOSHIKAZU
分类号	H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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