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发明名称 VACUUM SLUICE VALVE
摘要
申请公布号 JPH06338469(A) 申请公布日期 1994.12.06
申请号 JP19930151133 申请日期 1993.05.28
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KANAZAWA GENICHI
分类号 F16K1/20;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 F16K1/20
代理机构 代理人
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