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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR TESTING AIRTIGHTNESS OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH06337232(A) 申请公布日期 1994.12.06
申请号 JP19930126406 申请日期 1993.05.28
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KATO KAZUYUKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L27/00;G01M3/20;(IPC1-7):G01M3/20 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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