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经营范围
发明名称
PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06336677(A)
申请公布日期
1994.12.06
申请号
JP19930127453
申请日期
1993.05.28
申请人
KOYO RINDOBAAGU KK
发明人
YAMAGUCHI KAZUYOSHI
分类号
C23C16/50;H01J37/317;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
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