发明名称 MEASURING METHOD FOR PROBE-TO-PROBE ERROR IN X-Y CIRCUIT SUBSTRATE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06331653(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930145780 申请日期 1993.05.25
申请人 HIOKI EE CORP 发明人 TANAKA YUJI
分类号 G01R1/06;G01R31/28;(IPC1-7):G01R1/06 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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