发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH06334016(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930145365 申请日期 1993.05.26
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI YOSHIHITO
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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