发明名称 LSI
摘要
申请公布号 JPH06331708(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930125708 申请日期 1993.05.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIOZAWA KENJI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/82;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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