| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING DEFORMATION OF THIN PLATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06331339(A) |
申请公布日期 |
1994.12.02 |
| 申请号 |
JP19930119531 |
申请日期 |
1993.05.21 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
MASUYAMA SHOJI;MARUYAMA TAKATOSHI;AKIYAMA HIROKI |
| 分类号 |
G01B13/16;H01L21/66;(IPC1-7):G01B13/16 |
主分类号 |
G01B13/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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