| 发明名称 |
REACTION PRODUCT REMOVING SYSTEM FOR RADICAL REACTION PRECISE CUTTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06334039(A) |
申请公布日期 |
1994.12.02 |
| 申请号 |
JP19910335307 |
申请日期 |
1991.12.18 |
| 申请人 |
NIIGATA ENG CO LTD |
发明人 |
NAGAOKA HITOSHI;SATO MASAHIKO;HAMADA SHUJI;KIKUCHI YOSHIRO;TAKAHASHI MASAKAZU;TSUNO KAZUHIRO |
| 分类号 |
B23H7/10;B28D5/04;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78 |
主分类号 |
B23H7/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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