| 发明名称 |
DEVICE PROTECTIVE FILM AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06333922(A) |
申请公布日期 |
1994.12.02 |
| 申请号 |
JP19930141588 |
申请日期 |
1993.05.19 |
| 申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
OBARA FUMIO;OTSUKI HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/56;H01L21/31;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 |
主分类号 |
C23C16/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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