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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06333946(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930119412 申请日期 1993.05.21
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIMANO TAKUYA
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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