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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06333921(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930148516 申请日期 1993.05.25
申请人 ROHM CO LTD 发明人 YAMAMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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