| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR FORMING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06333857(A) |
申请公布日期 |
1994.12.02 |
| 申请号 |
JP19930148542 |
申请日期 |
1993.05.27 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/48;C23C16/50;C23C16/509;C23C16/517;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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