| 发明名称 |
ULTRASONIC WAVE INTENSITY SENSOR AND DETECTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06331429(A) |
申请公布日期 |
1994.12.02 |
| 申请号 |
JP19930123867 |
申请日期 |
1993.05.26 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
MITAMURA TSUGUFUMI;ISHIBASHI HIROSHI |
| 分类号 |
B08B3/12;G01H3/00;G01H3/10;H01L21/304;H04R17/00;H04R17/02;(IPC1-7):G01H3/10 |
主分类号 |
B08B3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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