发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06334123(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930116839 申请日期 1993.05.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KONO KENJI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G11C29/06;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址