发明名称 SUBSTRATE COMPRISING AN ELECTRICAL CIRCUIT PATTERN, METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING SAME
摘要 본 발명 개시는 기판 상에 전기 회로 패턴뿐만 아니라, 상기를 형성하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다. 일반적인 실시예에서, 광 패턴은 연속 재료 층 및 투명 층 사이의 부착의 패턴화된 릴리즈를 야기하는 투명 층을 통해 투사된다. 패턴화된 구조를 그 위에 형성하도록 노출되지 않은 재료를 남기는 동안에 패턴화된 재료 층에 부착된 릴리즈 층은 낮은 부착을 가지는 재료를 분리하도록 상기 기판을 인출한다.
申请公布号 KR20160079000(A) 申请公布日期 2016.07.05
申请号 KR20167013210 申请日期 2014.10.29
申请人 NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO 发明人 HENDRIKS ROB JACOB;SMITS EDSGER CONSTANT PIETER;PERINCHERY SANDEEP MENON;GROEN PIM
分类号 G03F7/34;G03F7/09;G03F7/11 主分类号 G03F7/34
代理机构 代理人
主权项
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