发明名称 |
SUBSTRATE COMPRISING AN ELECTRICAL CIRCUIT PATTERN, METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING SAME |
摘要 |
본 발명 개시는 기판 상에 전기 회로 패턴뿐만 아니라, 상기를 형성하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다. 일반적인 실시예에서, 광 패턴은 연속 재료 층 및 투명 층 사이의 부착의 패턴화된 릴리즈를 야기하는 투명 층을 통해 투사된다. 패턴화된 구조를 그 위에 형성하도록 노출되지 않은 재료를 남기는 동안에 패턴화된 재료 층에 부착된 릴리즈 층은 낮은 부착을 가지는 재료를 분리하도록 상기 기판을 인출한다. |
申请公布号 |
KR20160079000(A) |
申请公布日期 |
2016.07.05 |
申请号 |
KR20167013210 |
申请日期 |
2014.10.29 |
申请人 |
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO |
发明人 |
HENDRIKS ROB JACOB;SMITS EDSGER CONSTANT PIETER;PERINCHERY SANDEEP MENON;GROEN PIM |
分类号 |
G03F7/34;G03F7/09;G03F7/11 |
主分类号 |
G03F7/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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