发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE GAUGE
摘要
申请公布号 JPH06331473(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930122469 申请日期 1993.05.25
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 KUWAYAMA HIDEKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L19/04;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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