FORMATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE,申请号JP19930116818-传众专利搜索

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发明名称	FORMATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06334044(A)	申请公布日期	1994.12.02
申请号	JP19930116818	申请日期	1993.05.19
申请人	HITACHI LTD	发明人	SHIOZAWA KENJI
分类号	H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82	主分类号	H01L21/82
代理机构		代理人
主权项
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