发明名称 ULTRASONIC CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06333906(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930144317 申请日期 1993.05.24
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 OGAWA TAKESHIGE
分类号 B06B3/04;B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B06B3/04
代理机构 代理人
主权项
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