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发明名称 LASER BEAM IRRADIATION DEVICE AND HEAT TREATMENT USING THE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06333871(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930147043 申请日期 1993.05.25
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/268;H01S3/101;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
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