| 发明名称 |
THIN-FILM FORMATION DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06333839(A) |
申请公布日期 |
1994.12.02 |
| 申请号 |
JP19930116199 |
申请日期 |
1993.05.18 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
MATSUO TAKUYA;HIROBE TOSHIHIKO;AMANO HITOSHI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
