发明名称 DEVICE AND METHOD FOR PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH06333843(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930118248 申请日期 1993.05.20
申请人 CANON INC 发明人 SUZUKI NOBUMASA
分类号 H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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