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发明名称 ION IMPLANTING METHOD AND ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06333530(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930121350 申请日期 1993.05.24
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD;NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 MATSUNAGA KOJI;INAI YUTAKA;MATSUDA YASUHIRO;MATSUDA KOJI;TAGAMI TAKASHI;OYOSHI KEIJI;TANAKA SHUHEI;ARIMA YASUTOMO
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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