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经营范围
发明名称
CHARGED PARTICLE BEAM IRRADIATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06333526(A)
申请公布日期
1994.12.02
申请号
JP19930120084
申请日期
1993.05.21
申请人
NIKON CORP
发明人
SHIMIZU HIROYASU
分类号
H01J37/04;H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/153
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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