发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM IRRADIATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06333526(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930120084 申请日期 1993.05.21
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIMIZU HIROYASU
分类号 H01J37/04;H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/153 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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