发明名称 FINE STRUCTURE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06331321(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930124164 申请日期 1993.05.26
申请人 LASER TEC KK 发明人 OIDE TAKAHIRO
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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