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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06334051(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930116857 申请日期 1993.05.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 GESHI TATSURO
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/368;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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