发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06334028(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930122589 申请日期 1993.05.25
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 MATSUI MASAKI;HIMI KEIMEI
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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