发明名称 Elektronenmikroskop.
摘要
申请公布号 DE68919004(D1) 申请公布日期 1994.12.01
申请号 DE19896019004 申请日期 1989.07.19
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OHTAKA, TADASHI, KATSUTA-SHI IBARAKI-KEN, JP
分类号 H01J37/141;G01Q30/02;G01Q30/18;H01J37/16;H01J37/18;(IPC1-7):H01J37/16 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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