发明名称 Vakuumbeschichtungsanlage.
摘要
申请公布号 DE3850941(T2) 申请公布日期 1994.12.01
申请号 DE19883850941T 申请日期 1988.12.05
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO, JP;HATTORI, SHINTAROU, OOTSU, SHIGA, JP;TAKAHAGI, TAKAYUKI, OOTSU, SHIGA, JP;ISHITANI, AKIRA, OOTSU, SHIGA, JP 发明人 HATTORI, SHINTAROU 302 BELL-MAISON SAKAGUCHI, SHIGA, JP;TAKAHAGI, TAKAYUKI, OOTSU-SHI SHIGA, JP;ISHITANI, AKIRA TORE RESEARCH CENTER, OOTSU-SHI SHIGA, JP
分类号 C23C14/12;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24;C23C14/26 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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