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发明名称 Verfahren zur Herstellung oberflächen-mikromechanischer Strukturen
摘要
申请公布号 DE4317274(A1) 申请公布日期 1994.12.01
申请号 DE19934317274 申请日期 1993.05.25
申请人 ROBERT BOSCH GMBH, 70469 STUTTGART, DE 发明人 OFFENBERG, MICHAEL, DR.-ING. DR., 72076 TUEBINGEN, DE
分类号 C23F1/00;B81B3/00;C23F1/12;C23F1/24;C23F4/00;G01P15/08;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F1/24;C23C14/00;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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