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发明名称 Anlage zur mikrowellenchemischen Dampfphasenabscheidung.
摘要
申请公布号 DE68917164(T2) 申请公布日期 1994.12.01
申请号 DE19896017164T 申请日期 1989.01.30
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ECHIZEN, HIROSHI, TOKYO, JP;TAKAKI, SATOSHI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/52;C23C16/24 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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