METHOD FOR DEPOSITING METAL FILM BY DC GLOW DISCHARGE,申请号JP19930142497-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR DEPOSITING METAL FILM BY DC GLOW DISCHARGE
摘要
申请公布号	JPH06331516(A)	申请公布日期	1994.12.02
申请号	JP19930142497	申请日期	1993.05.24
申请人	TANAKA AKIRA	发明人	TANAKA AKIRA
分类号	C23C14/32;G01N1/28;(IPC1-7):G01N1/28	主分类号	C23C14/32
代理机构		代理人
主权项
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