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发明名称 Rasterkraftmikroskop
摘要
申请公布号 DE3922589(C2) 申请公布日期 1994.12.01
申请号 DE19893922589 申请日期 1989.07.10
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH, DE 发明人 GOEDDENHENRICH, THOMAS, 5170 JUELICH, DE;HARTMANN, UWE, DIPL.-PHYS. DR., 5162 NIEDERZIER, DE
分类号 G01B7/02;G01B7/34;G01L1/14;G01L5/00;G01Q20/00;G01R31/312;G01R33/038;H01J37/28 主分类号 G01B7/02
代理机构 代理人
主权项
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