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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitrid.
摘要
申请公布号 DE69008706(T2) 申请公布日期 1994.12.01
申请号 DE19906008706T 申请日期 1990.08.28
申请人 NORTON CO., WORCESTER, MASS., US 发明人 WILLKENS, CRAIG W., STERLING, MA 01564, US;HARTLINE, STEPHEN D., MILLBURY, MA 01527, US;ARSENAULT, NORMAND P., HOLDEN, MA 01520, US
分类号 C01B21/068;(IPC1-7):C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
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