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发明名称 APPARATUS FOR GAS-PHASE DEPOSITION
摘要
申请公布号 RU1580873(C) 申请公布日期 1994.11.30
申请号 SU19884465108 申请日期 1988.05.23
申请人 KOLMAKOVA TAMARA PAVLOVNA;SARNATSKIJ DANIL PETROVICH 发明人 KOLMAKOVA T.P.;SARNATSKIJ D.P.
分类号 C23C16/00;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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